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證券時報e公司訊，盛美上海(688082)8月7日晚公告，公司擬投建高端半導體設備拓展研發(fā)項目。該項目計劃總投資約7.48億元，其中使用自有資金投入1685.91萬元，剩余7.31億元擬使用公司首發(fā)上市超募資金投入。該項目將在上海張江購置研發(fā)辦公樓并裝修，同時購置相應研發(fā)設備。該項目擬研發(fā)產(chǎn)品包括干法設備拓展領域產(chǎn)品和超臨界CO2清洗干燥設備均具有較高的水準，預計某些性能指標能夠達到國際領先水平。

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